在当今高速发展的微电子封装和半导体制造领域，球形凸点（如焊球、导电胶凸点、铜柱凸点等）作为芯片与基板互连的关键结构，其机械可靠性直接影响产品的使用寿命和性能表现。随着封装技术向高密度、微型化方向发展，凸点尺寸不断缩?。ú糠忠呀抵?0μm以下），这对剪切力测试技术提出了更高要求。
ASTM F1269标准作为国际通用的球形凸点机械测试规范，为行业提供了科学的测试方法?？谱疾饪仄窘瓒嗄瓴牧狭ρР馐跃?，结合推拉力测试机，开发了一套完整的球形凸点剪切力测试解决方案。本文将系统性地介绍测试原理、设备选型、标准解读、操作技巧及典型应用案例，为工程师提供实用的技术参考。
一、测试原理
球形凸点剪切力测试通过施加平行于基板方向的力，直至凸点发生断裂或脱落，记录最大剪切力值。该测试可评估以下关键指标：
剪切强度：最大剪切力与凸点横截面积的比值（单位：MPa）。
失效模式：界面断裂（粘接失效）、凸点内聚断裂或混合失效。
工艺一致性：多组凸点剪切力的离散性分析。
ASTM F1269标准规定了测试速度、刀具几何形状及数据采集要求，确保测试条件的一致性。
二、测试目的
1、球形凸点剪切力测试的意义
可靠性评估：量化凸点与基板/芯片的结合强度
工艺优化：比较不同焊接/固化工艺的质量差异
失效分析：识别界面断裂、内聚断裂等失效模式
寿命预测：为热循环可靠性提供基础数据
2、剪切力测试的力学模型
根据弹性力学理论，球形凸点剪切过程可分为三个阶段：
弹性变形阶段：力-位移呈线性关系
塑性变形阶段：材料发生屈服
断裂阶段：界面或凸点本体破坏
三、测试工具和仪器
1、Alpha W260推拉力测试机
A、设备介绍
Alpha W260推拉力测试机是专为微电子封装设计的精密力学测试设备，常见的测试有晶片推力、金球推力、金线拉力等，采用高速力值采集系统。根据测试需要更换相对应的测试模组,系统自动识别模组，并自由切换量程。产品软件操作简单方便，适用于半导体IC封装测试、LED 封装测试、光电子器件封装测试、PCBA电子组装测试、汽车电子、航空航天、军工等等。亦可用于各种电子分析及研究单位失效分析领域以及各类院校教学和研究。
2、推刀
3、常用工装夹具
四、测试流程
步骤一、样品准备
将带有球形凸点的样品（如BGA芯片）固定在测试平台，确?；逅?。
使用光学系统定位目标凸点，调整刀具高度至凸点高度的50%~70%处（ASTM F1269推荐）。
步骤二、仪器设置
选择ASTM F1269测试模板，设置参数：
测试速度：50~500μm/s（依材料调整，默认100μm/s）。
剪切方向：平行于基板，刀具与凸点侧壁接触。
终止条件：力值下降80%（凸点wan全剥离）。
步骤三、执行测试
启动测试机，刀具匀速推进，实时监测力值变化。
记录最大剪切力（F<sub>max</sub>）及失效位置（界面或凸点内部）。
步骤四、数据分析
计算剪切强度：
统计分析同一批次凸点的强度分布，评估工艺稳定性。
步骤五、报告输出
生成包含以下内容的测试报告：
最大剪切力、剪切强度、失效模式。
力-位移曲线及光学显微镜失效图像。
五、应用案例
某半导体厂商采用Alpha W260测试锡银焊球（直径200μm），发现部分凸点剪切力低于标准值。经分析为回流焊温度不足导致界面结合不良，优化后剪切强度提升35%。
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